مضخات الفراغ عالية الدقة مع مقياس وصمام تُستخدم مضخات الفراغ لإنشاء بيئة ذات فراغ عالي والحفاظ عليها. وعادةً ما تكون مضخات الفراغ هذه مزودة بنظام تحكم عالي الدقة ومقاييس ضغط لمراقبة وتنظيم حالة الفراغ في الوقت الفعلي.
صمام الفراغ اللولبي عالي الدقة وعالي الحد ومقياس الفراغ ومضخة الفراغ
1. مبدأ العمل
تعتمد آلية تشغيل مضخات التفريغ عالية الدقة على حركة الجزيئات الغازية ضمن بيئة ضغط منخفضة. باستخدام نظام دفع ميكانيكي أو كهربائي، يقوم الدوار أو المكبس الموجود داخل المضخة باستخراج الجزيئات الغازية من حجرة المضخة، مما يؤدي إلى خفض الضغط الداخلي بشكل فعال. يتيح دمج تقنية الصمامات تنظيم تدفق الغاز بشكل قابل للتكيف عبر سيناريوهات تشغيلية مختلفة، مما يضمن موثوقية النظام وأمانه.
2. مجالات التطبيق
يتم استخدام هذا النوع من مضخة التفريغ في مجموعة واسعة من التطبيقات، بما في ذلك:
تصنيع أشباه الموصلات: في إنتاج أشباه الموصلات، هناك حاجة إلى بيئة فراغ عالية للغاية لمنع التلوث وضمان نقاء المواد.
علم المواد: للبحث والتطوير للمواد الجديدة، وخاصة في ترسب الأغشية الرقيقة ومعالجة الأسطح.
التغليف المفرغ من الهواء: في تغليف الأغذية والأدوية، يؤدي استخدام مضخات التفريغ إلى إطالة العمر الافتراضي للمنتج.
3. معايير الاختيار
عند اختيار مضخة فراغ عالية الدقة ذات فراغ نهائي عالي مع مقياس وصمام، يجب مراعاة العوامل التالية:
الفراغ: يجب أن يتوافق الحد الأقصى للفراغ في المضخة مع متطلبات التطبيق المعين.
معدل التدفق: يجب أن يتوافق معدل ضخ المضخة مع احتياجات النظام لضمان الوصول إلى مستوى الفراغ المطلوب بسرعة.
دقة التحكم: يعمل نظام التحكم عالي الدقة على تحسين المرونة التشغيلية والسلامة.
المتانة: يجب أن تكون مواد المضخة وتصميمها قادرة على تحمل فترات طويلة من التشغيل عالي التحمل.
